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单晶硅棒

单晶硅棒

子寿命,氧含量等等。单晶硅棒是生产单晶贝博的原材料。

技术参数

项目 技术参数
位错密度 <500at0ms/cm²
边长 156.75±0.25mm
对角线(单晶) 210±0.25mm
四边垂直度 90°±0.3°
晶向 <100>±3°
粗糙度 Ra≤1.5um
弧宽度偏差(单晶) 12±0.5mm
斜面 ≤1.5mm
导电类型 P
电阻率 1-3Ω·cm
少子寿命 >3μs(裸测),>15μs(钝化后)
氧含量 ≤1*1018atoms/cm³
碳含量 ≤0.5*1017atoms/cm³
生长方法 CZ 直拉法
掺杂挤 B 硼

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